真空熱處理是指將零件置于真空設備中，進行加熱、保溫和冷卻的工藝方法，零件在負壓下加熱，爐內空氣已稀薄到無法對零件進行化學反應。它是隨著航天技術的發(fā)展而迅速開發(fā)出來的新技術，也是近幾十年來熱處理設備中具有前途的一種，它可替換鹽浴爐、電阻爐和燃氣爐。真空爐是依據電極的輻射作用實現對工件的加熱的，輻射傳熱量與溫度的四次方成正比，溫度低時則輻射加熱速度比較慢，實現了緩慢加熱，因此工件的內外加熱較為均勻，工件的變形小。由于真空爐內氣壓很低，氧氣的含量對工件的鐵元素氧化不起作用，因此避免了工件在真空爐加熱過程中出現氧化和脫碳現象的發(fā)生，確保零件表面的原始狀態(tài)不變，工件表面清潔和光亮。由于金屬氧化物在氧的分解壓低或加熱溫度高時，發(fā)生分解，因此也可將已經發(fā)生氧化的表面除掉，恢復原來的表面狀態(tài)。

自1946年第一臺真空爐在美國問世以來，各國均潛心研制各種類型的真空爐，我國在1975年生產了第一臺油淬真空爐，國外高壓真空氣淬爐（5bar，1bar=105Pa）于1977年在聯邦德國的IDSEN公司誕生，真空光亮退火爐、真空氣淬爐、油淬爐、水淬爐及多用途爐相繼出現。目前功能齊全、設備先進的全自動化真空爐已經供應市場，盡管造價高，但由于真空熱處理解決了其他熱處理設備無法完成的工藝，因此它已經從軍用、航空等向民用的方向發(fā)展，并且發(fā)揮了重要的作用。

經真空爐熱處理后的零件表面光亮，確保其表面的元素成分和狀態(tài)不變，由于加熱是依靠電極的輻射來完成，因此零件加熱緩慢，故變形量小，尤其對要求變形十分嚴格的工具、模具、小型零件、薄片狀、無加工等零件的熱處理的首選設備，高速鋼鉆頭、圓板牙、拉刀、無心磨床支片等經過真空氣淬后后，零件的變形量為鹽浴爐的1/4~1/10，甚至可以實現成品的加工。

真空爐一般是由爐體、真空機組、液壓系統、控制系統等組成的，根據真空爐冷卻時使用的冷卻介質分類，真空爐分為水冷真空爐、氣淬-油冷真空爐、油冷真空爐以及氣冷真空爐幾種；按結構形式分為單室、雙室、三室和連續(xù)作業(yè)爐；按加熱方式分為內熱和外熱爐等。

零件材質不同，故其淬透性大不相同，應選用符合要求的淬火介質。對高合金鋼、高速鋼、不銹鋼、鐵鎳基合金以及部分尺寸小的低合金鋼而言，其淬透性高，冷速低仍能獲得要求的熱處理技術要求，故采用氣淬真空爐；對于低合金鋼或工具鋼、彈簧鋼、滾動軸承鋼等熱處理采用油冷或硝鹽真空爐；對于碳鋼、結構鋼等淬透性差以及鈦、鋁合金等零件的淬火，使用水冷真空爐。

目前國內雙室油冷真空爐的型號有ZC系列、WZ系列、VCQ系列等；單室氣淬爐有VFC系列、VVFC系列、HPV系列高壓氣淬系列等。它們具有各自的加熱和冷卻特點，其技術已經成熟，得到使用廠家的認可和肯定，正發(fā)揮其十分重要的作用。

真空熱處理通常包括真空淬火和回火、真空退火、真空固溶和時效、真空燒結、真空化學熱處理以及真空鍍膜等，因此真空爐可實現別的熱處理設備無法處理的復雜工藝，隨著社會的進步和科學技術的發(fā)展，必將發(fā)揮其巨大的作用。美國的海斯公司和德國的德固薩公司已經開發(fā)了水淬真空爐和硝鹽淬火真空爐，為淬透性差的碳素鋼等實現了真空熱處理，因此從某種意義上講，真空爐為幾乎所有的有色金屬和黑色金屬退火、淬火、回火、化學熱處理等提供了保障。真空熱處理的工藝參數主要有淬火溫度、真空度、冷卻介質、回火溫度以及硬度等，在熱處理過程中應根據材料、熱處理技術要求、零件的形狀、放置方式等進行合理的選擇，尤其要注意升溫速度對零件質量的影響。

真空爐與其他類型的熱處理爐相比，具有其他熱處理設備無法比擬的優(yōu)點：

①該設備自動化程度高，實現機械化操作，本身設備有自鎖保護功能，確保真空爐的安全操作和使用；

②爐膛潔凈，工件熱處理變形小，僅為鹽浴變形量的1/4～1/10，明顯減少了零件的磨削加工余量（可將磨削量壓縮2/3）；

③具有除氣和脫脂作用，顯著提高合金鋼的韌性，延長和提高零件的使用壽命；

④節(jié)省電力和能源，蓄熱損失小，污染氣氛低于其他任何的保護氣氛，無公害，操作安全性可靠，工作環(huán)境好；

⑤真空加熱可避免了零件的氧化和燒損，工件無氧化、脫碳、表面光亮，確保零件表面的化學成分和表面狀態(tài)保持不變，防止燒損，減少了熱處理表面缺陷，生產成本低；

⑥零件無氫脆的危險。

一般的真空熱處理工藝規(guī)范參如圖：

圖1    真空熱處理工藝曲線