滲碳件根據零件的結構，服役條件，工序安排的位置，可采用以下某一種方法進行熱處理，以達到最佳的效果。

1、直接淬火、回火。

特點：不能細化鋼的晶粒。工件淬火變形較大，合金鋼滲碳件表面殘余奧氏體量較多，表面硬度較低。適用范圍：操作簡單，成本低廉用來處理對變形和承受沖擊載荷不大的零件，適用于氣體滲碳和液體滲碳工藝。

2、預冷直接淬火（淬火溫度800-850℃）、低溫回火。

特點：可以減少工件淬火變形，滲層中殘余奧氏體量也可稍有降低，表面硬度略有提高，但不能細化晶粒。適用范圍： 操作簡單，工件氧化、脫碳及淬火變形均小，廣泛應用于細晶粒鋼制造的各種工具。

3、一次加熱淬火。 淬火溫度820-850℃或780-810℃、回火。

特點：對心部強度要求較高者，采用820-850℃淬火，心部為低碳M，表面要求硬度較高者，采用780-810℃淬火可以細化晶粒。適用范圍：適用于固體滲碳后的碳鋼和低合金鋼工件、氣體、液體滲碳的粗晶粒鋼，某些滲碳后不宜直接淬火的工件及滲碳后需機械加工的零件。

4、滲碳高溫回火。 一次加熱淬火，淬火溫度840-860℃、低溫回火。

特點：高溫回火使M和殘余A分解，滲層中碳和合金元素以碳化物形式析出，便于切削加工及淬火后殘余A減少。適用范圍：主要用于Cr-Ni合金滲碳工件。