真空熱處理是應(yīng)用面很廣的無氧化熱處理技術(shù)，也是當(dāng)前熱處理技術(shù)先進(jìn)程度的主要標(biāo)志之一。真空熱處理不僅可實(shí)現(xiàn)鋼件的無氧化、無脫碳，還可以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)的無污染和工件的少畸變，因而還屬于清潔和精密生產(chǎn)技術(shù)范疇。
工件畸變小是真空熱處理的一個非常重要的優(yōu)點(diǎn)，據(jù)國內(nèi)外經(jīng)驗(yàn)，工件真空熱處理的畸變量僅為鹽浴加熱淬火的三分之一。

現(xiàn)代真空熱處理爐是指可施行元件的真空加熱，然后在油中淬火或在常壓和加壓氣體中淬火的冷壁式爐子。研究開發(fā)真空熱處理設(shè)備是一項(xiàng)綜合性強(qiáng)、跨學(xué)科、牽涉到很多科技領(lǐng)域的工作。近幾年，國際上有研究開發(fā)使用氣體燃料的燃燒式真空爐的動向。在真空爐中采用氣體燃料加熱的困難太多，雖然有節(jié)約能源的說法，但不一定是一個重要的發(fā)展方向。

工模具材料的真空熱處理的應(yīng)用前景很大。大多數(shù)工模具鋼目前都采取在真空中加熱，然后在氣體中冷卻淬火的方式。為了使工件表面和內(nèi)部都獲得滿意的力學(xué)性能，必須采用真空高壓氣淬技術(shù)。

目前國際上真空氣淬的氣壓已從0.2MPa、0.6MPa提高到1～2MPa甚至3MPa。高壓氣淬真空爐的冷卻氣體壓力的逐步提高是一個重要的發(fā)展趨勢。除高壓氣淬外，在先抽真空而后填充高壓惰性氣體后施行對流加熱可以比傳統(tǒng)真空輻射加熱速度提高一倍以上，從而明顯提高加熱效率也是真空加熱技術(shù)的重要方向之一。向多功能發(fā)展也是真空爐的趨勢之一。