真空熱處理是指將零件在真空狀態(tài)下，進(jìn)行加熱、保溫和冷卻的工藝方法。是隨著航天技術(shù)的發(fā)展而迅速發(fā)展起來的新技術(shù)，也是近幾十年來在熱處理設(shè)備中具有前途的一種，它可替換鹽浴爐、電阻爐和燃?xì)鉅t。真空爐是依據(jù)電極的輻射作用實(shí)現(xiàn)對工件的加熱的，輻射加熱速度比較慢，因此工件的內(nèi)外加熱較為均勻，工件的變形小。由于真空爐內(nèi)氣壓很低，氧氣的含量對工件的鐵元素氧化不起作用，因此避免了工件在真空爐加熱過程中出現(xiàn)氧化和脫碳現(xiàn)象的發(fā)生，保持了工件表面的原始狀態(tài)，工件清潔和光亮。

真空爐不僅用于普通的工件的淬火、回火、退火和正火．而且可進(jìn)行化學(xué)熱處理如真空滲碳（包括真空碳氮共滲）、真空離子滲碳和輝光離子滲氮等，同時(shí)可完成金屬的燒結(jié)、釬焊和真空鍍膜等，資料介紹真空滲碳具有滲層均勻和重現(xiàn)性好、表面清潔光亮和消耗的氣體少，節(jié)約了氣源。